緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計(jì)，使用小型反射探頭，適用于從實(shí)驗(yàn)室
水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性，可用于過
程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。
最多可同時(shí)測量9種類型的透明薄膜。
它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點(diǎn)監(jiān)控器。
緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理論來判
斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。
1小型光纖探頭[*1] 2 膜厚測定再現(xiàn)性0.1nm以下（3σ）[*2]
6 無線對應(yīng)（選配件）[*6] 7 透射率測量（可選）[*7] 8
自動映射測量（可選）[*8] 采用 30 mm 的小型探頭，可安裝在設(shè)備內(nèi)的狹
小空間內(nèi)。 而且，由于探頭到本體只用光纖連接，具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。 4 膜質(zhì)解
析功能 [*4] ·通過有效介質(zhì)近似（EMA）方法計(jì)算混合比 ·結(jié)晶性評估，光學(xué)常數(shù)解
析 5 根據(jù)目的選擇光源
波長范圍 (nm) 430～700 400～900 220～900 對象膜厚范圍 (nm) 50 ～ 50,000 50 ～
50,000 10 ～ 30,000 平均壽命 (Hour) ＞50,000 10,000 1,000 光源式樣 白色 LED 鹵鎢燈
氘·鹵素 3 多層膜同時(shí)測
更新時(shí)間：2023-12-08 
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