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brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。特點高泄漏完整性（小
產品型號：5850EMH / 5851EMH廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2023-04-21訪 問 量：622
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| 品牌 | 其他品牌 | 類型 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 12m3/h |
brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許最大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。
高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥（可選常開閥）
電致動閥復位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關閥"功能
穩(wěn)定、可靠的產品平臺
高流量，高達 100 lpm（N2 當量）
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修
光纖制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制
| 5850EMH | 5851EMH | |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) | 10 - 100 slm (N2 equivalent) |
| 精度 | ±1% FS | ±1% FS |
| 重復性 | < ±0.25% of SP | < ±0.25% SP |
| 響應時間-常閉 | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |
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